 |
| الكمية: | |
|---|---|
مناسبة للإنتاج الضخم لمواد ترسيب البخار مثل أكسيد السيليكون ؛التحكم في فرق درجة الحرارة عالية الدقة ، فرن الفراغ بدرجة حرارة عالية ؛مع التسامي الفراغي العالي ، والتفاعل ، وإزالة الشحوم ، والجفاف ، وترسيب البخار ، وكشط الطحن الأوتوماتيكي ، وجمع الفرن ، وقدرات العمليات الخاصة الأخرى.
ميزات المعدات:
كمية كبيرة من المواد ، كفاءة إنتاج عالية.
العملية بأكملها مغلقة تمامًا وعملية تلقائية لتجنب الغبار المتطاير ، وبيئة موقع الإنتاج نظيفة ومرتبة.
يتم التحكم في درجة الحرارة في حدود 1500 درجة ، ومعدل التسخين سريع.يمكن أن تحافظ على عملية مستقرة في ظل الفراغ.
هيكل الفرن | |
حجم منطقة درجة حرارة ثابتة | أحجام Φ500mm * 600mm Φ600mm * 800mm Φ700mm * 1000mm ， Φ800mm * 1600mm ، إلخ. (يمكن تخصيصها حسب احتياجات العملاء) |
جسم الفرن | هيكل تبريد المياه الداخلي والخارجي ذو الطبقة المزدوجة ، والجزء الملامس لمياه التبريد المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 ، يمنع بشكل فعال جسم الفرن لفترة طويلة من استخدام ظاهرة تسرب الغاز |
نظام التسامي
| تتكون منطقة التسخين من ملف التعريفي ، اكسيد الالمونيوم الثقيل ، شعر الجرافيت الصلب والجرافيت المتساوي الساكن.منطقة التجميع مكونة من الفولاذ المقاوم للصدأ 310S وطبقة عازلة. |
نظام التحكم في درجة الحرارة | باستخدام وضع التحكم المركزي بشاشة تعمل باللمس PLC ، يمكن للتحكم التلقائي ، مع منفذ الشبكة ، تحقيق التحكم عن بعد. |
نظام التدفئة | تم اعتماد التسخين التعريفي ، ومصدر الطاقة هو مصدر طاقة موفر للطاقة IGBT مع ضوضاء منخفضة وحوالي 15٪ موفر للطاقة من مصدر طاقة الثايرستور التقليدي. |
وهي تتألف من مضخة تفريغ متعددة المراحل ، وصمام تفريغ ، ووحدة تحكم بالضغط وخط أنابيب. | |
نظام التبريد | مجهزة بنظام تبريد مغلق ، والتداول الداخلي بالماء منزوع الأيونات ، لن يتسبب في تحجيم خط أنابيب المعدات ، وفقدان الماء في الدورة الدموية الداخلية صغير ، والدوران الخارجي بماء الصنبور ، وإعادة تعبئة المياه تلقائيًا ، وتبديد حرارة بدء المروحة ؛تأثير تبديد الحرارة الجيد ، حماية البيئة المتكاملة ، البصمة الصغيرة وما إلى ذلك. |
تتكون المعدات من نظام التسامي ونظام التجميع ونظام التدفئة ونظام التحكم في درجة الحرارة ونظام الفراغ والنظام الميكانيكي ونظام التبريد. | |
مناسبة للإنتاج الضخم لمواد ترسيب البخار مثل أكسيد السيليكون ؛التحكم في فرق درجة الحرارة عالية الدقة ، فرن الفراغ بدرجة حرارة عالية ؛مع التسامي الفراغي العالي ، والتفاعل ، وإزالة الشحوم ، والجفاف ، وترسيب البخار ، وكشط الطحن الأوتوماتيكي ، وجمع الفرن ، وقدرات العمليات الخاصة الأخرى.
ميزات المعدات:
كمية كبيرة من المواد ، كفاءة إنتاج عالية.
العملية بأكملها مغلقة تمامًا وعملية تلقائية لتجنب الغبار المتطاير ، وبيئة موقع الإنتاج نظيفة ومرتبة.
يتم التحكم في درجة الحرارة في حدود 1500 درجة ، ومعدل التسخين سريع.يمكن أن تحافظ على عملية مستقرة في ظل الفراغ.
هيكل الفرن | |
حجم منطقة درجة حرارة ثابتة | أحجام Φ500mm * 600mm Φ600mm * 800mm Φ700mm * 1000mm ， Φ800mm * 1600mm ، إلخ. (يمكن تخصيصها حسب احتياجات العملاء) |
جسم الفرن | هيكل تبريد المياه الداخلي والخارجي ذو الطبقة المزدوجة ، والجزء الملامس لمياه التبريد المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 ، يمنع بشكل فعال جسم الفرن لفترة طويلة من استخدام ظاهرة تسرب الغاز |
نظام التسامي
| تتكون منطقة التسخين من ملف التعريفي ، اكسيد الالمونيوم الثقيل ، شعر الجرافيت الصلب والجرافيت المتساوي الساكن.منطقة التجميع مكونة من الفولاذ المقاوم للصدأ 310S وطبقة عازلة. |
نظام التحكم في درجة الحرارة | باستخدام وضع التحكم المركزي بشاشة تعمل باللمس PLC ، يمكن للتحكم التلقائي ، مع منفذ الشبكة ، تحقيق التحكم عن بعد. |
نظام التدفئة | تم اعتماد التسخين التعريفي ، ومصدر الطاقة هو مصدر طاقة موفر للطاقة IGBT مع ضوضاء منخفضة وحوالي 15٪ موفر للطاقة من مصدر طاقة الثايرستور التقليدي. |
وهي تتألف من مضخة تفريغ متعددة المراحل ، وصمام تفريغ ، ووحدة تحكم بالضغط وخط أنابيب. | |
نظام التبريد | مجهزة بنظام تبريد مغلق ، والتداول الداخلي بالماء منزوع الأيونات ، لن يتسبب في تحجيم خط أنابيب المعدات ، وفقدان الماء في الدورة الدموية الداخلية صغير ، والدوران الخارجي بماء الصنبور ، وإعادة تعبئة المياه تلقائيًا ، وتبديد حرارة بدء المروحة ؛تأثير تبديد الحرارة الجيد ، حماية البيئة المتكاملة ، البصمة الصغيرة وما إلى ذلك. |
تتكون المعدات من نظام التسامي ونظام التجميع ونظام التدفئة ونظام التحكم في درجة الحرارة ونظام الفراغ والنظام الميكانيكي ونظام التبريد. | |
