 |
| الكمية: | |
|---|---|
فرن ترسيب البخار
يمكن استخدام فرن ترسيب البخار لتسخين هاليدات المعادن وتبخيرها ، والمركبات العضوية المعدنية ، والهيدروكربونات ومصادر التفاعل الأخرى تحت ضغط محدد لتوليد رواسب صلبة على سطح المادة المستهدفة. كما أنه يستخدم لترسيب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الهيدروكربون (مثل C3H8 ، وما إلى ذلك) كمصدر للكربون ، مثل المواد المركبة C/C ، المواد المركبة SIC ، CVD ، معالجة CVI.
سمات:
1) في درجة حرارة متوسطة أو عالية ، تتشكل المادة الصلبة وترسبها على المصفوفة من خلال التفاعل الكيميائي الطور الغاز بين المركبات الأولية في مرحلة الغاز.
2) يمكن أن تودع تحت الضغط الجوي أو ظروف الفراغ (الضغط السلبي '، وعادة ما تكون جودة فيلم ترسب الفراغ أفضل).
3) يمكن أن يؤدي استخدام التكنولوجيا المدعومة من البلازما والليزر إلى تعزيز التفاعل الكيميائي بشكل كبير ، بحيث يمكن تنفيذ الترسب عند درجة حرارة أقل.
4) يمكن أن يتغير التركيبة الكيميائية للطلاء مع تغيير تكوين طور الغاز ، وذلك للحصول على رواسب التدرج أو الطلاء المختلط.
5) يمكن التحكم في كثافة الطلاء ونقاء الطلاء.
6) حول الأجزاء المطلي. يمكن أن تكون مغلفة على مصفوفة الشكل المعقدة والمواد الحبيبية. مناسبة لطلاء جميع أنواع الأشكال المعقدة من الشغل. نظرًا لأداء الطلاء الجيد ، يمكن طلاءه بأخاديد وأخاديد وثقوب وحتى ثقوب أعمى من الشغل.
7) عادة ما يكون للطبقة المودعة بنية بلورية عمودية ولا تقاوم الانحناء ، ولكن يمكن تحسين هيكلها عن طريق اضطراب طور الغاز للتفاعل الكيميائي من خلال تقنيات مختلفة.
8) يمكن أن تشكل مجموعة متنوعة من الطلاء المعدني والسبائك والسيراميك والمركب من خلال ردود الفعل المختلفة.
المعلمة/النموذج | JT-CJL-04 | JT-CJL-14 | JT-CJL-31 | JT-CJL-74 | JT-CJL-127 | JT-CJL-211 | JT-CJL-326 | JT-CJL-588 |
حجم منطقة العمل φ × H （mm） | 100 × 500 | 150 × 800 | 200 × 1000 | 250 × 1500 | 300 × 1800 | 350 × 2200 | 400 × 2600 | 500 × 3000 |
أعلى درجة حرارة （℃） | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 |
توحيد درجة الحرارة （℃） | ± 3/± 5 | ± 3/± 5 | ± 5/± 7.5 | ± 7.5/± 10 | ± 7.5/± 10 | ± 10/± 15 | ± 10/± 15 | ± 15/± 20 |
درجة الفراغ （PA） | ≤30 | ≤30 | ≤50 | ≤50 | ≤100 | ≤100 | ≤100 | ≤100 |
معدل ارتفاع الضغط （PA/H） | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 5 | 5 | 5 |
وضع التدفئة | مقاومة الجرافيت/تسخين الحث | |||||||
فرن ترسيب البخار
يمكن استخدام فرن ترسيب البخار لتسخين هاليدات المعادن وتبخيرها ، والمركبات العضوية المعدنية ، والهيدروكربونات ومصادر التفاعل الأخرى تحت ضغط محدد لتوليد رواسب صلبة على سطح المادة المستهدفة. كما أنه يستخدم لترسيب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الهيدروكربون (مثل C3H8 ، وما إلى ذلك) كمصدر للكربون ، مثل المواد المركبة C/C ، المواد المركبة SIC ، CVD ، معالجة CVI.
سمات:
1) في درجة حرارة متوسطة أو عالية ، تتشكل المادة الصلبة وترسبها على المصفوفة من خلال التفاعل الكيميائي الطور الغاز بين المركبات الأولية في مرحلة الغاز.
2) يمكن أن تودع تحت الضغط الجوي أو ظروف الفراغ (الضغط السلبي '، وعادة ما تكون جودة فيلم ترسب الفراغ أفضل).
3) يمكن أن يؤدي استخدام التكنولوجيا المدعومة من البلازما والليزر إلى تعزيز التفاعل الكيميائي بشكل كبير ، بحيث يمكن تنفيذ الترسب عند درجة حرارة أقل.
4) يمكن أن يتغير التركيبة الكيميائية للطلاء مع تغيير تكوين طور الغاز ، وذلك للحصول على رواسب التدرج أو الطلاء المختلط.
5) يمكن التحكم في كثافة الطلاء ونقاء الطلاء.
6) حول الأجزاء المطلي. يمكن أن تكون مغلفة على مصفوفة الشكل المعقدة والمواد الحبيبية. مناسبة لطلاء جميع أنواع الأشكال المعقدة من الشغل. نظرًا لأداء الطلاء الجيد ، يمكن طلاءه بأخاديد وأخاديد وثقوب وحتى ثقوب أعمى من الشغل.
7) عادة ما يكون للطبقة المودعة بنية بلورية عمودية ولا تقاوم الانحناء ، ولكن يمكن تحسين هيكلها عن طريق اضطراب طور الغاز للتفاعل الكيميائي من خلال تقنيات مختلفة.
8) يمكن أن تشكل مجموعة متنوعة من الطلاء المعدني والسبائك والسيراميك والمركب من خلال ردود الفعل المختلفة.
المعلمة/النموذج | JT-CJL-04 | JT-CJL-14 | JT-CJL-31 | JT-CJL-74 | JT-CJL-127 | JT-CJL-211 | JT-CJL-326 | JT-CJL-588 |
حجم منطقة العمل φ × H （mm） | 100 × 500 | 150 × 800 | 200 × 1000 | 250 × 1500 | 300 × 1800 | 350 × 2200 | 400 × 2600 | 500 × 3000 |
أعلى درجة حرارة （℃） | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 |
توحيد درجة الحرارة （℃） | ± 3/± 5 | ± 3/± 5 | ± 5/± 7.5 | ± 7.5/± 10 | ± 7.5/± 10 | ± 10/± 15 | ± 10/± 15 | ± 15/± 20 |
درجة الفراغ （PA） | ≤30 | ≤30 | ≤50 | ≤50 | ≤100 | ≤100 | ≤100 | ≤100 |
معدل ارتفاع الضغط （PA/H） | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 5 | 5 | 5 |
وضع التدفئة | مقاومة الجرافيت/تسخين الحث | |||||||
