فرن ترسيب البخار

فرن ترسيب البخار

يمكن استخدام فرن ترسيب البخار لتسخين وتبخير هاليدات المعادن والمركبات العضوية المعدنية والهيدروكربونات ومصادر التفاعل الأخرى تحت ضغط محدد لتوليد رواسب صلبة على سطح المادة المستهدفة.يتم استخدامه أيضًا لترسيب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الهيدروكربون (مثل C3H8، وما إلى ذلك) كمصدر للكربون، مثل المواد المركبة C/C، والمواد المركبة SiC، ومعالجة CVD، وCVI.

سمات:

1) عند درجة حرارة متوسطة أو عالية، تتشكل المادة الصلبة وتترسب على المصفوفة من خلال التفاعل الكيميائي في الطور الغازي بين المركبات الأولية في الطور الغازي.

2) يمكن ترسيبه تحت الضغط الجوي أو ظروف الفراغ (ترسيب الضغط السلبي، وعادة ما تكون جودة فيلم الترسيب الفراغي أفضل).

3) يمكن أن يؤدي استخدام تقنية البلازما والليزر إلى تعزيز التفاعل الكيميائي بشكل كبير، بحيث يمكن إجراء الترسيب عند درجة حرارة منخفضة.

4) يمكن أن يتغير التركيب الكيميائي للطلاء مع تغير تركيبة الطور الغازي، وذلك للحصول على رواسب متدرجة أو طلاء مختلط.

5) يمكن التحكم في كثافة الطلاء ونقاء الطلاء.

6) حول الأجزاء المطلية.يمكن أن تكون مغلفة على مصفوفة الشكل المعقدة والمواد الحبيبية.مناسبة لطلاء جميع أنواع الأشكال المعقدة لقطعة العمل.بسبب أداء الطلاء الجيد، يمكن طلاءها بالأخاديد، والأخاديد، والثقوب، وحتى الثقوب العمياء لقطعة الشغل.

7) تحتوي الطبقة المترسبة عادة على بنية بلورية عمودية وغير مقاومة للانحناء، ولكن يمكن تحسين بنيتها عن طريق اضطراب الطور الغازي للتفاعل الكيميائي من خلال تقنيات مختلفة.

8) يمكن تشكيل مجموعة متنوعة من الطلاءات المعدنية والسبائك والسيراميك والمركب من خلال تفاعلات مختلفة.