 |
| الكمية: | |
|---|---|
مناسبة للإنتاج الضخم لمواد ترسيب البخار مثل أكسيد السيليكون؛التحكم في فرق درجة الحرارة بدقة عالية، فرن عالي الكفاءة؛مع التسامي عالي الفراغ، والتفاعل، وإزالة الشحوم، والجفاف، وترسيب البخار، وكشط الطحن التلقائي، وجمع الفرن وإمكانيات العمليات الخاصة الأخرى.
ميزات المعدات:
كمية كبيرة من المواد وكفاءة إنتاجية عالية.
العملية برمتها مغلقة بالكامل وتشغيل تلقائي لتجنب تطاير الغبار، وبيئة موقع الإنتاج نظيفة ومرتبة. يتم التحكم في درجة الحرارة في حدود 1500 درجة، ويكون معدل التسخين سريعًا.
يمكن الحفاظ على عملية مستقرة في ظل فراغ.
هيكل الفرن | |
حجم منطقة درجة الحرارة الثابتة | Φ500mm * 600mm، Φ600mm * 800mm، Φ700mm * 1000mm، Φ800mm * 1600mm، الخ الأحجام. (يمكن تخصيصها وفقا لاحتياجات العملاء) |
جسم الفرن | هيكل تبريد المياه الداخلي والخارجي مزدوج الطبقة، وجزء الاتصال من مياه التبريد مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304، يمنع بشكل فعال جسم الفرن لفترة طويلة من استخدام ظاهرة تسرب الغاز. |
نظام التسامي | تتكون منطقة التسخين من ملف الحث، اكسيد الالمونيوم الثقيل، الجرافيت الصلب والجرافيت المتوازن.تتكون منطقة التجميع من الفولاذ المقاوم للصدأ 310S وطبقة عازلة. |
نظام التحكم في درجة الحرارة | باستخدام وضع التحكم المركزي بشاشة اللمس PLC، يمكن للتحكم الآلي، مع منفذ الشبكة، تحقيق التحكم عن بعد. |
نظام التدفئة | تم اعتماد التسخين الحثي، ومصدر الطاقة هو مصدر طاقة IGBT موفر للطاقة مع ضوضاء منخفضة وتوفير الطاقة بنسبة 15% تقريبًا من مصدر طاقة الثايرستور التقليدي. |
وهي تتألف من مضخة فراغ متعددة المراحل، صمام فراغ، جهاز التحكم في الضغط وخط الأنابيب. | |
نظام التبريد | مجهزة بنظام تبريد مغلق، والتدوير الداخلي بالماء منزوع الأيونات، لن يسبب تحجيم خط أنابيب المعدات، وفقدان الماء في الدوران الداخلي صغير، والتدوير الخارجي مع ماء الصنبور، وإعادة تعبئة المياه تلقائيًا، وتبديد الحرارة ببدء تشغيل المروحة؛تأثير جيد لتبديد الحرارة، وحماية البيئة المتكاملة، وبصمة قدم صغيرة وما إلى ذلك. |
تتكون المعدات من نظام التسامي ونظام التجميع ونظام التسخين ونظام التحكم في درجة الحرارة ونظام الفراغ والنظام الميكانيكي ونظام التبريد. | |
مزايا
1. ثبات درجة الحرارة العالية: يمكن لفرن ترسيب أكسيد السيليكون ترسيب طبقة أكسيد السيليكون عند درجة حرارة عالية، مع ثبات جيد لدرجة الحرارة العالية.وهذا يجعل من الممكن تحقيق عملية ترسيب دقيقة في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة، مما يضمن جودة وتوحيد الفيلم المترسب.
2. التحكم الدقيق في درجة الحرارة: إن فرن ترسيب أكسيد السيليكون مجهز بنظام متقدم للتحكم في درجة الحرارة، والذي يمكنه تحقيق التحكم الدقيق في درجة الحرارة.وهذا مهم جدًا لعملية ترسيب أكسيد السيليكون، لأن التحكم في درجة الحرارة يؤثر بشكل مباشر على خصائص وجودة الأفلام المترسبة.
3. الفراغ العالي: يوفر فرن ترسيب أكسيد السيليكون بيئة فراغ عالية، والتي يمكنها إزالة الأكسجين والشوائب الأخرى بشكل فعال.وهذا يساعد على ضمان نقاء عملية الترسيب وتجنب تأثير الشوائب على خصائص الفيلم المترسب.
4. الترسيب الموحد: يمكن لفرن ترسيب أكسيد الصوامع تحقيق ترسيب موحد لضمان توحيد الفيلم المترسب.وهذا مهم للتطبيقات التي تتطلب درجة عالية من التوحيد، مثل أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية.
5. المرونة: تتمتع مواقد ترسيب أكسيد السيليكون بمرونة عالية ويمكن تعديلها وتحسينها وفقًا للاحتياجات المختلفة.على سبيل المثال، يمكن تعديل المعلمات مثل معدل الترسيب والتحكم في الغلاف الجوي لتلبية متطلبات المواد والتطبيقات المختلفة.
باختصار، يتمتع فرن ترسيب أكسيد السيليكون بمزايا ثبات درجة الحرارة العالية، والتحكم الدقيق في درجة الحرارة، والفراغ العالي، والترسيب الموحد والمرونة، مما يجعله جهازًا مثاليًا لترسيب فيلم أكسيد السيليكون.
نرحب بالعملاء لمراسلتنا عبر البريد الإلكتروني أو الاتصال بنا للتشاور مع منتجاتنا، نرحب ترحيبا حارا بالعملاء من جميع أنحاء العالم لزيارة مصنعنا، لطلبنا.يمكننا تخصيص المعدات وفقًا لمتطلبات العملاء، ويمكننا لصق العلامة التجارية للعملاء، ويمكننا منح العملاء شهادات مخصصة.أي طلب أو أسئلة، الثابتة والمتنقلة تكون حرة في الاتصال بنا، وذلك بفضل!
مناسبة للإنتاج الضخم لمواد ترسيب البخار مثل أكسيد السيليكون؛التحكم في فرق درجة الحرارة بدقة عالية، فرن عالي الكفاءة؛مع التسامي عالي الفراغ، والتفاعل، وإزالة الشحوم، والجفاف، وترسيب البخار، وكشط الطحن التلقائي، وجمع الفرن وإمكانيات العمليات الخاصة الأخرى.
ميزات المعدات:
كمية كبيرة من المواد وكفاءة إنتاجية عالية.
العملية برمتها مغلقة بالكامل وتشغيل تلقائي لتجنب تطاير الغبار، وبيئة موقع الإنتاج نظيفة ومرتبة. يتم التحكم في درجة الحرارة في حدود 1500 درجة، ويكون معدل التسخين سريعًا.
يمكن الحفاظ على عملية مستقرة في ظل فراغ.
هيكل الفرن | |
حجم منطقة درجة الحرارة الثابتة | Φ500mm * 600mm، Φ600mm * 800mm، Φ700mm * 1000mm، Φ800mm * 1600mm، الخ الأحجام. (يمكن تخصيصها وفقا لاحتياجات العملاء) |
جسم الفرن | هيكل تبريد المياه الداخلي والخارجي مزدوج الطبقة، وجزء الاتصال من مياه التبريد مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304، يمنع بشكل فعال جسم الفرن لفترة طويلة من استخدام ظاهرة تسرب الغاز. |
نظام التسامي | تتكون منطقة التسخين من ملف الحث، اكسيد الالمونيوم الثقيل، الجرافيت الصلب والجرافيت المتوازن.تتكون منطقة التجميع من الفولاذ المقاوم للصدأ 310S وطبقة عازلة. |
نظام التحكم في درجة الحرارة | باستخدام وضع التحكم المركزي بشاشة اللمس PLC، يمكن للتحكم الآلي، مع منفذ الشبكة، تحقيق التحكم عن بعد. |
نظام التدفئة | تم اعتماد التسخين الحثي، ومصدر الطاقة هو مصدر طاقة IGBT موفر للطاقة مع ضوضاء منخفضة وتوفير الطاقة بنسبة 15% تقريبًا من مصدر طاقة الثايرستور التقليدي. |
وهي تتألف من مضخة فراغ متعددة المراحل، صمام فراغ، جهاز التحكم في الضغط وخط الأنابيب. | |
نظام التبريد | مجهزة بنظام تبريد مغلق، والتدوير الداخلي بالماء منزوع الأيونات، لن يسبب تحجيم خط أنابيب المعدات، وفقدان الماء في الدوران الداخلي صغير، والتدوير الخارجي مع ماء الصنبور، وإعادة تعبئة المياه تلقائيًا، وتبديد الحرارة ببدء تشغيل المروحة؛تأثير جيد لتبديد الحرارة، وحماية البيئة المتكاملة، وبصمة قدم صغيرة وما إلى ذلك. |
تتكون المعدات من نظام التسامي ونظام التجميع ونظام التسخين ونظام التحكم في درجة الحرارة ونظام الفراغ والنظام الميكانيكي ونظام التبريد. | |
مزايا
1. ثبات درجة الحرارة العالية: يمكن لفرن ترسيب أكسيد السيليكون ترسيب طبقة أكسيد السيليكون عند درجة حرارة عالية، مع ثبات جيد لدرجة الحرارة العالية.وهذا يجعل من الممكن تحقيق عملية ترسيب دقيقة في ظل ظروف درجات الحرارة المرتفعة، مما يضمن جودة وتوحيد الفيلم المترسب.
2. التحكم الدقيق في درجة الحرارة: إن فرن ترسيب أكسيد السيليكون مجهز بنظام متقدم للتحكم في درجة الحرارة، والذي يمكنه تحقيق التحكم الدقيق في درجة الحرارة.وهذا مهم جدًا لعملية ترسيب أكسيد السيليكون، لأن التحكم في درجة الحرارة يؤثر بشكل مباشر على خصائص وجودة الأفلام المترسبة.
3. الفراغ العالي: يوفر فرن ترسيب أكسيد السيليكون بيئة فراغ عالية، والتي يمكنها إزالة الأكسجين والشوائب الأخرى بشكل فعال.وهذا يساعد على ضمان نقاء عملية الترسيب وتجنب تأثير الشوائب على خصائص الفيلم المترسب.
4. الترسيب الموحد: يمكن لفرن ترسيب أكسيد الصوامع تحقيق ترسيب موحد لضمان توحيد الفيلم المترسب.وهذا مهم للتطبيقات التي تتطلب درجة عالية من التوحيد، مثل أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية.
5. المرونة: تتمتع مواقد ترسيب أكسيد السيليكون بمرونة عالية ويمكن تعديلها وتحسينها وفقًا للاحتياجات المختلفة.على سبيل المثال، يمكن تعديل المعلمات مثل معدل الترسيب والتحكم في الغلاف الجوي لتلبية متطلبات المواد والتطبيقات المختلفة.
باختصار، يتمتع فرن ترسيب أكسيد السيليكون بمزايا ثبات درجة الحرارة العالية، والتحكم الدقيق في درجة الحرارة، والفراغ العالي، والترسيب الموحد والمرونة، مما يجعله جهازًا مثاليًا لترسيب فيلم أكسيد السيليكون.
نرحب بالعملاء لمراسلتنا عبر البريد الإلكتروني أو الاتصال بنا للتشاور مع منتجاتنا، نرحب ترحيبا حارا بالعملاء من جميع أنحاء العالم لزيارة مصنعنا، لطلبنا.يمكننا تخصيص المعدات وفقًا لمتطلبات العملاء، ويمكننا لصق العلامة التجارية للعملاء، ويمكننا منح العملاء شهادات مخصصة.أي طلب أو أسئلة، الثابتة والمتنقلة تكون حرة في الاتصال بنا، وذلك بفضل!
