هناك بشكل رئيسي عدة أنواع من الأفران ذات درجة الحرارة العالية لمعالجة مواد أنود بطارية الليثيوم:1.فرن الفراغ: يمكن معالجة فرن الفراغ عند درجة حرارة عالية في بيئة خالية من الأكسجين أو منخفضة الأكسجين للمعالجة الحرارية لمواد أنود بطارية الليثيوم، مثل الجرافيت والجرافين

المعدات الرئيسية المستخدمة في تقنية CVD هي فرن ترسيب البخار الكيميائي ، والذي يستخدم بشكل رئيسي في العديد من تجارب CVD ، ويمكن استخدامه أيضًا في تلبيد الفراغ ، وتلبيد حماية الغلاف الجوي بالفراغ ، وإعداد المواد النانوية ، وإعداد مواد البطارية ومجالات البحث الأخرى.كيميكا

ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هو نوع من التكنولوجيا الكيميائية ، والتي تستخدم أساسًا واحدًا أو عدة مركبات غازية أو عناصر تحتوي على عناصر رقيقة لإنتاج غشاء رقيق عن طريق تفاعل كيميائي على سطح الركيزة.فرن ترسيب البخار الكيميائي هو تقنية جديدة للتحضير في