ما هي خصائص فرن ترسيب البخار الكيميائي؟

المعدات الرئيسية المستخدمة في تقنية CVD هي فرن ترسيب البخار الكيميائي ، والذي يستخدم بشكل رئيسي في العديد من تجارب CVD ، ويمكن استخدامه أيضًا في تلبيد الفراغ ، وتلبيد حماية الغلاف الجوي بالفراغ ، وإعداد المواد النانوية ، وإعداد مواد البطارية ومجالات البحث الأخرى.

ترسيب البخار الكيميائي هو تقنية كيميائية تستخدم أساسًا واحدًا أو عدة مركبات بخارية أو عناصر تحتوي على عناصر غشاء رقيق للتفاعل كيميائيًا على سطح الركيزة لإنتاج غشاء رقيق.ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي تقنية جديدة لتحضير المواد غير العضوية التي تم تطويرها في العقود الأخيرة.تم استخدام ترسيب البخار الكيميائي (CVD) على نطاق واسع لتنقية المواد ، وتطوير بلورات جديدة ، وإيداع العديد من مواد الأفلام غير العضوية أحادية البلورية أو متعددة الكريستالات أو الزجاج.يمكن أن تكون هذه المواد عبارة عن أكاسيد ، أو كبريتيدات ، أو نيتريد ، أو كربيدات ، أو مركبات ثنائية أو متعددة العناصر بين العناصر من المجموعات III-V ، و II-IV ، و IV-VI ، ويمكن التحكم في وظائفها الفيزيائية بدقة عن طريق عمليات الترسيب المشبعة بالبخار.أصبح ترسيب البخار الكيميائي مجالًا جديدًا للكيمياء التركيبية غير العضوية.

عند استخدام فرن ترسيب البخار الكيميائي لإجراء التجارب ، يكون له الخصائص التالية:

1 ، عملية تشغيل الجهاز بسيطة نسبيًا ، ومرونة قوية ، ويمكن أن تعد فيلمًا واحدًا أو مركبًا وفيلمًا من السبائك بنسب مختلفة ؛

2 ، استخدام طريقة CVD أكثر شمولاً ، يمكن تحضير مجموعة متنوعة من طلاء الفيلم المعدني أو المعدني ؛

3 ، لأن معدل الترسيب يمكن أن يصل إلى بضعة ميكرونات في الدقيقة إلى مئات الميكرونات ، لذلك كفاءة إنتاج عالية ؛

4 ، مقارنة مع طريقة PVD حيود جيد ، ومناسب للغاية لطلاء شكل معقد من الأساسي ، مثل الأخاديد والثقوب وحتى هيكل الفتحة العمياء يمكن أن يكون مطليًا في فيلم ؛

5 ، كثافة الطلاء جيدة ، نظرًا لارتفاع درجة حرارة عملية تشكيل الفيلم ، فإن الالتصاق على واجهة قاعدة الفيلم قوي جدًا ، وبالتالي فإن طبقة الفيلم ثابتة جدًا ؛

6 ، تحمل أضرار الإشعاع منخفضة ، ويمكن دمجها مع عملية الدوائر المتكاملة MOS.

تتمثل أوجه القصور في تقنية CVD في أن درجة حرارة الترسيب يمكن أن تصل إلى 800-1100 درجة مئوية ، كما أن قطعة العمل سهلة التشوه عند درجة الحرارة المرتفعة هذه ، خاصة بالنسبة لأحجام قطع العمل عالية الدقة التي لا تقاوم التغيرات في درجات الحرارة العالية ، سيقتصر الاستخدام إلى حد معين.ثانيًا ، نظرًا لأن المواد التفاعلية المتضمنة في الترسيب والغاز بعد التفاعل تكون في الغالب قابلة للاشتعال أو متفجرة أو سامة أو أكالة ، فمن الضروري اتخاذ تدابير وقائية معينة.