يتم استكشاف مبدأ العمل ونطاق التطبيق لفرن ترسيب البخار

فرن ترسيب البخار هو معدات ترسب أفلام شائعة الاستخدام ، والتي تنمو مواد فيلم رقيقة على سطح الركيزة بواسطة تقنية ترسب البخار. إنه يعمل عن طريق نقل مزيج من الغاز أو الغاز إلى سطح الركيزة الساخنة ، مما تسبب في خضوعه لتفاعل كيميائي على السطح وإيداعه لتشكيل فيلم. يمكن لهذه التكنولوجيا إعداد مواد فيلم رقيقة مع وظائف وهياكل محددة ، وتستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات والإلكترونات الضوئية وأجهزة العرض والمجالات الأخرى.

تنقسم أفران ترسيب البخار إلى نوعين: ترسب البخار الكيميائي (CVD) وترسب البخار الفيزيائي (PVD). الأمراض القلبية الوعائية هي استخدام الغاز على سطح التفاعل الكيميائي للركيزة لتشكيل فيلم رفيع ، والأقطار القلبية الوعائية الشائعة ، وترسب البخار الكيميائي المعزز للبلازما (PECVD) وما إلى ذلك. PVD هو التبخر أو الدماغ للمادة المصدر في بيئة فراغ لتشكيل فيلم رفيع ، وتراجع المغنطيسية الشائعة ، وتبخر شعاع الإلكترون وما إلى ذلك.

نطاق تطبيق فرن ترسيب البخار واسع جدًا ، بما في ذلك الجوانب التالية:

1.

2. صناعة الإلكترونيات الضوئية: تستخدم لنمو أكسيد الزنك ، وبيروفسكايت والأفلام الوظيفية الأخرى ، وإعداد أجهزة الضوئية ، والليزر وغيرها من الأجهزة الإلكترونية.

3. صناعة الأجهزة المعروضة: تستخدم لزراعة أكسيد الصفيح الإنديوم ، والفلورايد الإنديوم ، والفلورايد الزنك وغيرها من الأفلام الموصلة الشفافة ، وتستخدم لإعداد شاشة بلورية سائلة ، وصمام ثنائي الضوء العضوي وأجهزة العرض الأخرى.

4. إعداد الطلاءات المختلفة: يستخدم لمواد الطلاء المتنامية ، مثل الطلاء المعدني ، والطلاء السيراميك ، وفيلم البوليمر ، وما إلى ذلك ، لمكافحة التآكل ، الموصلية الحرارية ، البصريات وغيرها من الوظائف.

5. أبحاث المواد النانوية: يمكن إعداد أنابيب الكربون النانوية والجرافين وغيرها من المواد النانوية من خلال فرن ترسب البخار للبحث والتطبيق في مجال التكنولوجيا النانوية.

بشكل عام ، يعد فرن ترسيب البخار عبارة عن معدات ترسيب للأفلام مهمة للغاية ، والتي يمكن استخدامها لإعداد مواد فيلم وظيفية مختلفة وتستخدم على نطاق واسع في مختلف المجالات. من خلال التطوير المستمر والتقدم في العلوم والتكنولوجيا ، سيكون نطاق تطبيقات ترسب الغاز أكثر شمولاً ، ويوفر المزيد من فرص الابتكار والتطوير التكنولوجي للصناعات ذات الصلة.