تشمل وظائف فرن ترسيب البخار بشكل أساسي نمو المواد وترسبها ، والمعالجة الحرارية ، وإعداد الأفلام ، وإعداد المواد النانوية ، وتطبيق صناعة أشباه الموصلات ، ومسحوق المعادن ، وإعداد المواد البصرية ، إلخ.
فرن ترسيب البخار هو معدات إعداد المواد المهمة ، والتي تستخدم على نطاق واسع في علوم المواد والهندسة. تشمل وظائفها الرئيسية:
نمو المواد وترسبها : يتم إنتاج الأفلام والجسيمات النانوية والمواد المتقدمة الأخرى عن طريق نقل مزيج من الغازات إلى فرن حيث يتم تقسيم الغازات في درجات حرارة عالية. يتم إيداع الذرات أو الجزيئات الناتجة على ركيزة صلبة.
المعالجة الحرارية : بالإضافة إلى ترسب المواد ، يمكن أيضًا استخدام فرن ترسيب البخار لتحميص مسحوق المواد المختلفة ، وتلبيس السيراميك ، وتجربة درجة الحرارة العالية ، والمعالجة المادية وما إلى ذلك.
إعداد الفيلم : بما في ذلك فيلم معدني ، فيلم أشباه الموصلات ، فيلم بصري وما إلى ذلك. عن طريق التحكم في ظروف التفاعل وإمدادات المواد ، يمكن الحصول على مواد فيلم رقيقة ذات خصائص وإنشاءات محددة.
إعداد المواد النانوية : يمكن إعداد مواد نانومتر مثل الجسيمات النانوية والأسلاك النانوية. يمكن تصنيع المواد النانوية ذات الأشكال والأحجام المختلفة عن طريق ضبط ظروف التفاعل ومواد الركيزة.
تطبيقات صناعة أشباه الموصلات : في صناعة أشباه الموصلات ، يتم استخدام أفران ترسب البخار للعمليات الحرجة مثل ترسب الأفلام وتنظيف الرقاقة والمعالجة السطحية.
مسحوق المعادن : يمكن استخدامه في مجال المعادن المسحوق ، وتشكيل المواد المعدنية أو الخزفية عن طريق تفاعل الغاز.
إعداد المواد البصرية : يتم تصنيع المواد البصرية الشفافة لإعداد الأجهزة البصرية والطلاء البصري.
الجامعات ومعاهد البحوث العلمية تطبيق : كمعدات تجريبية ، تستخدم في تلبيد الغلاف الجوي عالية درجة الحرارة ، وتقليل الغلاف الجوي ، وتجربة الأمراض القلبية الوعائية ، وتجارب التفريغ وغيرها من التجارب البحثية.