فرن الفراغ ، وهو جهاز مصمم لبيئة معينة ، والمبدأ هو أنه من خلال نظام الفراغ ، تتم إزالة المواد الموجودة في غرفة الفرن لإنشاء بيئة فراغ أقل من الضغط الجوي القياسي. تسمح هذه العملية للمعدات بالعمل تحت الفراغ وهي مناسبة لمجموعة متنوعة من العمليات.
يشمل هيكل الفرن الفراغي بشكل رئيسي الفرن وعنصر التدفئة ونظام التحكم في درجة الحرارة ونظام الفراغ ونظام تبريد الماء وقشرة الفرن المختومة. ينقسم الفرن إلى الفولاذ المقاوم للصدأ والألياف السيراميكية وروضة الموليبدينوم والجرافيت والمواد الأخرى ، ويمكن أن تصل درجة الحرارة القصوى إلى 2200 ℃. عناصر التدفئة مثل سلك المقاومة ، قضيب الكربون السيليكون ، سلك الموليبدينوم موليبدينوم قضيب السيليكون موليبدينوم ، الجرافيت وملف الحث ، وصلت أعلى درجة حرارة أيضًا إلى 2200 ℃. يتكون نظام الفراغ من صمامات الفراغ ، والمضخات الميكانيكية ، ومضخات الانتشار ، ومضخات الجذور ، وما إلى ذلك ، لتحقيق أعلى فراغ من 7 × 10-3Pa. يضمن نظام تبريد المياه التشغيل العادي للمعدات وفقًا لحجم الفرن. يجب أن يكون لقذيفة الفرن المختومة أداء ختم جيد لتلبية متطلبات درجة التصميم.
وفقًا لطريقة التسخين ، يمكن تقسيم الفرن الفراغي إلى فرن مقاومة الفراغ ، وفرن تحريض الفراغ ، وفرن القوس الكهربائي الفراغي ، وفرن القوس الكهربائي القابل للاستهلاك ، وفرن شعاع الإلكترون (فرن القصف الإلكترون) وفرن البلازما. تستخدم هذه الأجهزة على نطاق واسع في تلبيد الفراغ عالية درجة الحرارة ، والتلدين ، والتهدئة ، والشيخوخة للمواد الخزفية ، والمواد المركبة المعدنية الخزفية ، والمعادن الحرارية ، ومواد السبائك ، والنساء الفراغي لأدوات السبائك والمواد الخارقة.