ما هو تصنيف واستخدام أفران الترسيب؟

فرن الترسيب عبارة عن معدات معالجة حرارية تستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة أو الطلاءات على الأسطح الصلبة.وفقًا لمبادئ العمل ومجالات التطبيق المختلفة، يمكن تقسيم أفران الترسيب إلى أنواع مختلفة، وتشمل التصنيفات الشائعة ما يلي:

1. فرن ترسيب البخار الكيميائي (CVD): فرن ترسيب البخار الكيميائي عبارة عن جهاز يستخدم التفاعلات الكيميائية في الطور الغازي لترسيب الأغشية الرقيقة على الأسطح الصلبة.يتم استخدامه عادةً لإعداد مواد مثل أشباه الموصلات والأغشية الرقيقة الضوئية والطلاءات وما إلى ذلك.

2. فرن ترسيب البخار الفيزيائي (PVD): فرن PVD هو جهاز يستخدم العمليات الفيزيائية مثل التبخر والرش لترسيب الأغشية الرقيقة على الأسطح الصلبة.وعادة ما يستخدم لتحضير المعادن والسيراميك والمواد النانوية وما إلى ذلك.

3. فرن ترسيب المحلول: فرن ترسيب المحلول هو عبارة عن جهاز يستخدم المواد الموجودة في المحاليل الكيميائية لترسيب الأغشية الرقيقة أو الطلاءات على الأسطح الصلبة.يتم استخدامه عادةً لتحضير المواد الحيوية والأفلام الخزفية والطلاءات وما إلى ذلك.

4. فرن ترسيب الطبقة الذرية الساخنة (ALD): فرن ترسيب الطبقة الذرية الساخنة هو عبارة عن معدات تستخدم تكنولوجيا ترسيب الطبقة الذرية لترسيب الأغشية الرقيقة على الأسطح الصلبة.يتم استخدامه عادةً لإعداد مواد رقيقة عالية الدقة وعالية الجودة.

الاستخدامات الرئيسية لأفران الترسيب تشمل:

1. تحضير الأفلام الوظيفية: يمكن لفرن الترسيب تحضير أفلام ذات وظائف محددة، مثل الأفلام الموصلة الشفافة، والطلاءات المضادة للتآكل، والأفلام البصرية، وما إلى ذلك.

2. تعديل السطح: يمكن لفرن الترسيب أن يشكل طبقة تغطية على السطح الصلب، مما يحسن خصائص سطح المادة، مثل زيادة الصلابة، مقاومة التآكل، مقاومة التآكل، إلخ.

3. تحضير المواد النانوية: يمكن استخدام فرن الترسيب لتحضير المواد النانوية، مثل الجسيمات النانوية، والأسلاك النانوية، والأغشية النانوية، وغيرها.

4. التطبيقات البصرية: يمكن لفرن الترسيب تحضير الأغشية الرقيقة الضوئية، والعدسات العاكسة، والمرشحات الضوئية، وما إلى ذلك، لاستخدامها في الأجهزة والأنظمة البصرية

بشكل عام، تتمتع أفران الترسيب بقيمة تطبيقية مهمة في علوم المواد، وصناعة أشباه الموصلات، والهندسة البصرية، وهندسة الأسطح، وغيرها من المجالات، ويمكنها تحقيق التحكم الدقيق والتحسين الوظيفي لأسطح المواد.